真空烧结炉首要用于半导体元器材及电力整流器材的烧结工艺，可进行真空烧结，气体维护烧结及惯例烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺配备，它规划构思新颖，操作便利，结构紧凑，在一台设备上可完结多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。接着跟俺一同看看真空烧结炉遇到以下三种状况能够采纳的应急办法。
停电时，假如断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。假如在非升温、加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，持续工作如需求较长时刻，则将设备保持原状。
假如正在加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，假如需求较长时刻时，则保持原状，让设备天然冷却下来。加热电源掉电、水压低，当水压低于0.15MPa,压力表报警，真空放电，水冷电极接头与加热器衔接处有必要衔接结实，与反射屏绝缘要好。
若炉内压力为13.3-66.5Pa时（此真空度容易发生放电）。电源呈现毛病，掉电的原因能够以为因为电介质击穿而引起的放电。抽真空开端前，气体充入时刻长或许无法充入时，请承认气体管路是否被阻塞。
如气体管路没问题，查看电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要悉数中止后再进行查看。向真空室内充气不能中止的状况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要封闭气体供应阀及配管在内的一切气体体系。
